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In-situ series 在线椭偏仪
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UVISEL 2 VUV 真空紫外椭偏仪
专为VUV 测量设计,整个系统处于真空状态,无氧气吸收。具备高度准确性;独一无二的超快测量速度;快速样品室抽真空能力,方便快速更换样品;氮气消耗量少。
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HORIBA.AutoSE.全自动快速椭偏仪
一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE——新型的全自动薄膜测量分析工具。采用工业化设计,操作简单,可在几秒钟内完成全自动测量和分析,并输出分析报告。是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。
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HORIBA UVISEL Plus研究级经典型椭偏仪
微米。此外,还可以测试材料的反射率及透过率。 技术参数: * 光谱范围: 190-885 nm(可扩展至2100nm) * 微光斑可选50μm-100μm-1mm
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HORIBA UVISEL Plus研究级经典型椭偏仪
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Film Sense FS-1™多波长椭偏仪
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LE-103PV 激光型椭偏仪(Laser Ellipsometer)
LE-103PV激光型椭偏仪基于椭圆偏振测试技术,通过测试线偏振光经过样品反射后偏振态振幅和相位的改变,建立样品相应光学模型,计算出薄膜的厚度、折射率和消光系数。
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HORIBA Smart SE智能型多功能椭偏仪
多功能性设计,配置灵活,具备多角度测量能力,可方便实现在线与离线配置切换。是一款针对单层和多层薄膜进行简单,快速,精确表征和分析的工具。
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HORIBA Smart SE智能型多功能椭偏仪
多功能性设计,配置灵活,具备多角度测量能力,可方便实现在线与离线配置切换。是一款针对单层和多层薄膜进行简单,快速,精确表征和分析的工具。
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在线薄膜测量系统
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