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光刻机的性能指标
工艺等各方面的限制。 对准精度是在多层曝光时层间图案的定位精度。 曝光方式分为接触接近式、投影式和直写式。 曝光光源波长分为紫外、深紫外和极紫外区域,光源有汞灯,准分子激光器等。
2021-04-17来源: 网络 -
准分子激光器的功能介绍
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