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光源衍射的限制,所以与光源、光刻系统、光刻胶和工艺等各方面的限制。 对准精度是在多层曝光时层间图案的定位精度。 曝光方式分为接触接近式、投影式和直写式。 曝光光源波长分为紫外、深紫外和极紫外区域,光源有汞灯,准分子激光器等。
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激光器从运行上分为连续激光器和脉冲激光器。脉冲激光器是指单个激光脉冲宽度小于0.25秒、每间隔一定时间才工作一次的激光器,它具有较大输出功率,适合于激光打标、切割、测距等。常见的脉冲激光器有固体激光器中的钇铝石榴石(YAG)激光器、红宝石激光器、钕玻璃激光器等,还有氮分子激光器、准分子激光器等。调Q和锁模是得到脉冲激光的两种最常用的技术。
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改变某些外界参数(如磁场、温度等)使激光跃迁的能级移动。第三种是利用非线性效应实现波长的变换和调谐(见非线性光学、受激喇曼散射、光二倍频,光参量振荡)。属于第一种调谐方式的典型激光器有染料激光器、金绿宝石激光器、色心激光器、可调谐高压气体激光器和可调谐准分子激光器。
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几种气体的混合物(一般为氩、氪等)。9、准分子激光器:比如KrF(248 nm)、XeF(351-353 nm)、ArF(193 nm)、XeCl(308 nm)、F2(157 nm,均为紫外线)。10、金属蒸汽激光器:比如铜蒸汽激光器,波长
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1.近视治疗 轻度和中度近视,可配以适度凹透镜片矫正视力。高度近视戴镜后常感觉物象过小、头昏及看近物困难应酌情减低其度数,或戴角膜接触镜,但后者如处理不当可引起一系列角膜并发症。 近视眼激光手术即是人们常说的“准分子激光手术”,用
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中文名称氟化氙准分子激光器英文名称xenon fluoride excimer laser定 义以氙、三氟化氮(或氟)、氦的混合气体为工作物质的准分子激光器。应用学科机械工程(一级学科),光学仪器(二级学科),激光器件和激光设备-激光器名称(三级学科)
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外界参数(如磁场、温度等)使激光跃迁的能级移动。第三种是利用非线性效应实现波长的变换和调谐(见非线性光学、受激喇曼散射、光二倍频,光参量振荡)。属于第一种调谐方式的典型激光器有染料激光器、金绿宝石激光器、色心激光器、可调谐高压气体激光器和可调谐准分子激光器。
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工艺等各方面的限制。 对准精度是在多层曝光时层间图案的定位精度。 曝光方式分为接触接近式、投影式和直写式。 曝光光源波长分为紫外、深紫外和极紫外区域,光源有汞灯,准分子激光器等。
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,最后打孔。准分子激光微加工法准分子激光波长短(193nm或者248nm),单光子的能量大,可以直接切断高聚物的C�H键,以冷加工的方式对材料进行加工。准分子激光对高聚物材料的加工程度取决于其对准分子激光的吸收程度, 当准分子激光参数确定
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通过改变某些外界参数(如磁场、温度等)使激光跃迁的能级移动。第三种是利用非线性效应实现波长的变换和调谐(见非线性光学、受激喇曼散射、光二倍频,光参量振荡)。属于第一种调谐方式的典型激光器有染料激光器、金绿宝石激光器、色心激光器、可调谐高压气体激光器和可调谐准分子激光器。