系统抽速高、极限真空好,可通入大流量工艺气体;提供无油真空环境
高级深度剖析可以调整溅射速率以进行批量分析或深度剖析 推荐用于:航空航天:镍高温合金、复合材料、涂层和扩散层的深度剖析微电子:铜、氧化铝粉、溅射靶材可再生能源:硅块、硅片、太阳能电池医疗/制药/食品:不锈钢、合金
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紧凑集成,可以实现24VDC供电后分子泵直接运行;低功耗、低振动、节能;更高前级耐压,适合分析仪器行业
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