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应用:attocube激光干涉仪校正低温非线性扫描
attocube公司的激光干涉仪,可以在低温环境下使用激光探头对扫描台的扫描运动进行实时检测(高速扫描)。结合对扫描台的施加电压进行实时反馈控制,可解决低温下非线性扫描问题。
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