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等等的不同来设计调整抛光液的体系。 化学机械抛光液通常由磨料(氧化铝、氧化硅、碳化硅、金刚石等)、光亮剂(有机酸、蜡等)、分散剂(聚丙烯酸钠、聚羧酸、聚乙烯吡咯烷酮等)、润滑剂(聚醚、硅油、基础油
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