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真空计(Vacuum Gauge),又名真空表,是测量真空度或气压的仪器。一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。 按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制,可将主要的真空计分为三大类
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按真空度刻度方法分类 1、绝对真空计:直接读取气体压力,其压力响应(刻度)可通过自身几何尺寸计算出来或由测力确定。绝对真空计对所有气体都是准确的且与气体种类无关,属于绝对真空计的有U型镑压力计、压缩式真空计和热辐射真空计等。 2
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·真空计的检定周期为壹年(时间检验校准看使用情况而定)。 型号 测量范围 精度误差 采用的标准 PM-2 10kPa-0.2kPa 350Pa-0.1Pa U型计为2.5级麦氏计为±40% JJG540-88 Q
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电阻真空计即采用电阻技术的真空计,一般先校准零点,再进行满度校准。
原理
金属圆筒内部设有一白金细线,两端连接电极。
通过电极给白金细线提供电流时,白金细线会发热,气体分子碰撞白金细线或热辐射或通过固体热传导等方式
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电阻真空计即采用电阻技术的真空计,一般先校准零点,再进行满度校准。
原理
金属圆筒内部设有一白金细线,两端连接电极。
通过电极给白金细线提供电流时,白金细线会发热,气体分子碰撞白金细线或热辐射或通过固体
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的真空度就引起了电阻率的不同,则电阻就不同,电流在电阻丝上的压降就不同,根据电压的变化就能换算出空气压强,也就是测量真空度。实际的皮拉尼真空计一般做成四臂电桥,并有用于温度补偿的电阻丝与其串联。
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低温的气体分子碰撞高温固体时,会从固体夺取热量。通过被气体分子夺取的热量来计算压力的真空计被成为热传导真空计。热传导真空计主要被应用于中低真空领域。代表性的热传导真空计包括Pirani真空计和热电偶真空计。 真空计原理 金属圆筒
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热偶真空计的校准 热偶真空计在使用前也需要进行校准,热偶规管在未开封前真空度已抽至为10^-2~10^-3Pa。将热偶规管与仪器连接,使管座垂直向上,接通仪器电源开关,预热10min,“热偶转换”开关置“加热电流”位置,调节“加热
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电阻/电离复合真空计是基于低真空测量电阻单元(ZJ-52T电阻规)与高真空测量冷阴极电离单元(ZJ-14冷规)技术组合,以完成1×105~1×10-7Pa连续测量与控制。因此该真空计系列具有电阻真空计与冷阴极电离真空计所有技术参数与性能
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利用热电偶的电势与加热元件的温度有关,元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。 热电偶接在白金或钨的细线上。这段细线通过电流後会发热。发出的热量通过周围气体分子的热传导,或细线本身的固体热传导,或热辐射放出。利用