系统、JS- 3X100B磁控溅射台、PECVD-2E等离子淀积台、ZZSX500C电子束蒸发台、JC500-3/D磁控溅射镀膜机、石英管清洗机,以及多种常用测试仪器, 如OLS1100激光共聚焦显微镜、DEKTAK-III台阶测量仪
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硅片模具合金炉,晶体管自动控温管式炉,马弗炉,鼓风干燥箱,激光切割机,划片机,超声打孔机,去离子水系统,湿法工作台,石英管清洗机,超声清洗器。 三、精密齿轮加工及测量设备 齿轮磨床,超精密齿轮齿距误差测量仪,齿轮
辽宁省
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