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动态干涉仪Kaleo-Multiwave
有别于基于传统Fizeau 干涉仪的方法,采用位相检测方法直接构建的动态干涉仪既不需要移动待测元件多次曝光,也不需要采用偏振等复杂的光学手段,针对待测元件进行一次测量即可获得其反射面型或透过
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超导量子干涉仪器件
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Xper WLI 白光干涉仪
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皮米精度激光干涉仪
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皮米精度位移激光干涉仪
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