其脉冲激光器具备1~2ns短脉宽,能量覆盖μJ ~mJ,重频自30Hz至20kHz,可输出1064nm及其谐波(532、355、266、213nm)。而连续输出激光器则主要是266nm的深紫外波长输出,最高功率可达500mW。
≦1.0eMOPA266-40266>401k≦1.0eMOPA355-100355>1001k≦1.3eMOPA532-200532>2001k≦1.5MOPA266-50266>501k
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