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溅射设备 MVS
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PECVD MVS
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GSL-PECVD-300化学气相沉积
沉积采用等离子体增强型化学气相沉积技术,基本温度低,沉积速率快,在光学玻璃、硅、石英以及不锈钢等不同衬底材料上沉积氮化硅、非晶硅和微晶硅等薄膜,成膜质量好,针孔较少,不易龟裂,适用于制备非晶硅和微晶硅
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COMECT硅管(用于蠕动泵和薄膜泵)
COMECT硅管(用于蠕动泵和薄膜泵)COMECT硅管(用于蠕动泵和薄膜泵)管道长度为1 m带有* 的型号适用于蠕动泵“Percom N-M ll”和“PR-2003COMECT硅管(用于
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连续式四探针片电阻及光学膜厚测量设备
)370 x 470mm 长方形基底 (XY样品台)连续式设备可以度身订做, 没有尺寸限制 片电阻测量适合金属薄膜、铜铟镓硒、非晶硅(硅)、碲化镉、钼、透明导电薄膜(AlZnO2)、掺杂之后的硅(硅
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FSM 413 系列 晶圆厚度测量系统
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MProbe系列薄膜测厚仪
大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且稳定的被测量。比如:氧化物,氮化物,光刻胶,高分子聚合物,半导体(硅,单晶硅,多晶硅),半导体化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS
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海洋光学椭偏仪
偏仪,主要用于测量平整和半透明的样品,例如硅晶圆片和玻璃片等薄膜。 椭偏仪SpecEL-2000是一款操作便捷的台式光谱椭偏仪,主要用于测量平整和半透明的样品,例如硅晶圆片和玻璃片等薄膜。 椭圆
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Film Sense FS-1™多波长椭偏仪
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漆膜附着力测试
层的薄膜附着力测试附着力测试仪对基板上的薄膜和堆叠进行薄膜附着力测试,以进行材料评估。MELT改进的边缘提升测试,用于测量薄膜和薄膜堆叠在各种结晶和非结晶基板上的附着力,例如硅,III-V化合物,玻璃
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