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四川大学功能与分子影像四川省重点实验室
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超精密控制与系统联合实验室
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FIB(聚焦离子束)技术应用实验室
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郭雪峰教授课题组
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微纳器件与系统研究室
5.系统封装与集成技术 研究室是我校微米/纳米技术研究中心主要组成单位之一,拥有超净实验室和系列微纳器件与材料制造设备,包括常规CMOS设备、双面光刻机、感应耦合等离子刻蚀机(ICP)、真空键合机
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