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北京理工大学光谱实验室
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新型真空镀膜工艺与装备实验室
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吉林省红外气体传感技术工程研究中心
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电子科技大学科学技术发展研究院微波电真空器件国家级重点实验室
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微纳器件与系统研究室
5.系统封装与集成技术 研究室是我校微米/纳米技术研究中心主要组成单位之一,拥有超净实验室和系列微纳器件与材料制造设备,包括常规CMOS设备、双面光刻机、感应耦合等离子刻蚀机(ICP)、真空键合机
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中国科技大学国家同步辐射实验室
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哈尔滨工业大学空间环境材料行为及评价技术重点实验室
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浙江大学硅材料国家重点实验室
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中国科学院上海硅酸盐研究所 特种无机涂层重点实验室
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北京大学(化学学院)稀土材料化学及应用国家重点实验室
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