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微纳制造与测量技术教育部工程中心
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宁波市无机微纳功能材料及应用重点实验室
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北京市纳米光子学与超精密光电系统重点实验室
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北京理工大学微纳技术中心
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中山大学光电材料与技术国家重点实验室
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复旦大学微纳加工与器件公共实验室
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北京大学信科学院微纳加工实验室(校级公共平台)
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纳米光子学与超精密光电系统北京市重点实验室
室 任老师 68913163 3.邮箱:7220121025@bit.edu.cn 纳米光子学与超精密光电系统北京市重点实验室依托于北京理工大学物理学院和光电学院组建
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微纳器件与系统研究室
5.系统封装与集成技术 研究室是我校微米/纳米技术研究中心主要组成单位之一,拥有超净实验室和系列微纳器件与材料制造设备,包括常规CMOS设备、双面光刻机、感应耦合等离子刻蚀机(ICP)、真空键合机
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辽宁省微纳米技术及系统重点实验室
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