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采用表面金属提取电感耦合等离子体质谱(SME-ICP-MS) 表征硅片表面的金属污染物
分析SME 液滴基质时的潜在物理干扰。将此功能与软提取操作模式相结合,可使检测能力超过国家技术路线图2009 年针对 450 mm 晶圆所规定的要求。
来源:安捷伦科技(中国)有限公司 相关产品:Agilent 7900 电感耦合等离子体质谱仪 应用
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MODDE Pro 12新功能简介
来源:上海百趣生物医学科技有限公司 资料
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半导体AMC污染物如何快速精准检测
来源:TOFWERK中国-南京拓服工坊 应用
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