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Gigaphoton深紫外線準分子激光器-深紫外线准分子激光器
仪器简介:应用: ◆ASML、Nikon、Canon光刻机等。技术参数:日本Gigaphoton公司是全球顶尖的深紫外光刻机(DUV Scanner)的光源供应商,其研发并生产的KrF(248nm
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美国BIOS Defender530 气体流量计
, L/min,cc/min, cf/minmL/min, L/min,cc/min, cf/min标准化N/AN/AsmL/min, sL/min,scc/min, scf/min温度N
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美国BIOS 530M流量校正器
/min, cc/min, cf/minmL/min, L/min, cc/min, cf/min标准化N/AN/AsmL/min, sL/min, scc/min
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530流量校准器
/min标准化N/AN/AsmL/min,sL/minscc/min,scf/min温度N/A℃或℉·℃或℉压力N/AmmHg,PSI,kPammHg,PSI,kPa温度和压力传感器NoYesYes
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BIOS Defender 510/520/530流量校准器
/min, cf/minmL/min, L/min,cc/min, cf/min标准化N/AN/AsmL/min, sL/min,scc/min, scf/min温度N/A℃ ℉℃ ℉压力N
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510L流量校准器
/min标准化N/AN/AsmL/min, sL/min, scc/min, scf/min温度N/A℃ ℉℃ ℉压力N/AmmHg, PSI, kPammHg, PSI, kPa温度和
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BIOS气体流量计
/minmL/min, L/min, cc/min, cf/min标准化N/AN/AsmL/min, sL/min, scc/min, scf/min温度N/A℃ ℉℃ ℉压力N
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520H数字式采样器流量校准器
, cf/minmL/min, L/min, cc/min, cf/min标准化N/AN/AsmL/min, sL/min, scc/min, scf/min温度N
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520H干式气体流量计
, L/min, cc/min, cf/minmL/min, L/min, cc/min, cf/min标准化N/AN/AsmL/min, sL/min, scc
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530+L流量校正器
/min, L/min, cc/min, cf/minmL/min, L/min, cc/min, cf/min标准化N/AN/AsmL/min, sL/min
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