日立白光干涉显微镜VS1800
纳米尺度3D光学干涉测量系统VS1800应用光干涉现象,对微细的表面形貌进行测量,可实现高性能薄膜、半导体、汽车零配件、显示器等行业所要求的高精度测量。而且还能以无损伤方式进行多层膜的层结构以及层内部的异物测量。
这是一款利用光干涉原理进行非接触式无损伤三维表面形态测量的纳米尺度3D光学干涉测量系统
×20 ×50 ×110样品高度标准0~50 mm使用加高配件时50~100 mm0~100 mm电脑OSWindows 10减震台(带支架)被动式或主动式纳米尺度3D光学干涉测量系统VS1800应用
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