善准科技等离子体表面处理仪VP-R10频率13.56MHz,能对材料起到清洁、刻蚀、活化、改性的作用,满功率运行30分钟,腔体温度不高于32℃,不损伤样品,适用于微流控芯片PDMS键合、ITO导电玻璃、石墨烯、纤维、单晶硅片、PET、二氧化硅等几乎所有材料的PLASMA处理。
善准科技旋转型真空等离子处理仪VP-T3解决了微小颗粒特别是粉末样品PLASMA处理不完全,不均匀的痛点,真空腔体在等离子处理过程中滚动旋转,从而带动粉末样品在真空环境下翻滚,从而确保的样品得到完全、均匀的等离子处理。
该仪器为扫描电镜和电子探针等进行试样制备的设备,可进行真空蒸碳、真空镀膜和离子溅射。
善准科技手套箱专用真空等离子处理仪VP-R3分体式保留了VP-R3自动化操作的便利及PLASMA处理效果,又实现把真空腔体分离,便于放入手套箱的狭小空间,解决了材料的放置、处理、取出均在无氧无水、零污染的手套箱内完成工艺,从而实现PLASMA等离子处理更精细化的实验要求。
善准科技等离子去胶机VP-RS6频率13.56MHz,能对材料起到清洁、刻蚀、活化、改性的作用,腔体不锈钢,功率500W,满功率运行3分钟,腔体温度不高于45℃,适用于晶圆去胶、煤灰化、碳毯(CF)、微流控芯片PDMS键合、单晶硅片、二氧化硅等几乎所有材料的PLASMA处理。
善准科技等离子刻蚀机VP-RS15频率13.56MHz,能对材料起到清洁、刻蚀、活化、改性的作用,腔体不锈钢,功率500W,满功率运行3分钟,腔体温度不高于45℃,适用于晶圆去胶、煤灰化、碳毯(CF)、微流控芯片PDMS键合、单晶硅片、二氧化硅等几乎所有材料的PLASMA处理。
善准科技真空封管机VS-Q1采取一体化设计(专利:一种旋转真空密封石英管装置),免去复杂安装,只需要连接真空泵即可使用,石英管旋转速度可调、抽真空速度可调(粉末、块体样品均适用)、充保护气体速度可调,可对外径5mm至50mm、长度80-1500mm的石英管进行真空密封。
善准科技真空封管机VS-Q2采取一体化设计(专利:一种旋转真空密封石英管装置),免去复杂安装,只需要连接真空泵即可使用,石英管旋转速度可调、抽真空速度可调(粉末、块体样品均适用)、充保护气体速度可调,可对外径5mm至50mm、长度80-1500mm的石英管进行真空密封。
善准科技等离子清洗机VP-RS15频率13.56MHz,能对材料起到清洁、刻蚀、活化、改性的作用,腔体不锈钢,功率500W,满功率运行3分钟,腔体温度不高于45℃,适用于晶圆去胶、煤灰化、碳毯(CF)、微流控芯片PDMS键合、单晶硅片、二氧化硅等几乎所有材料的PLASMA处理。
善准科技PLASMA等离子清洗机VP-R5频率13.56MHz,能对材料起到清洁、刻蚀、活化、改性的作用,满功率运行30分钟,腔体温度不高于32℃,不损伤样品,适用于微流控芯片PDMS键合、ITO导电玻璃、石墨烯、纤维、单晶硅片、PET、二氧化硅等几乎所有材料的PLASMA处理。
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