善准科技等离子体表面处理仪VP-R10频率13.56MHz,能对材料起到清洁、刻蚀、活化、改性的作用,满功率运行30分钟,腔体温度不高于32℃,不损伤样品,适用于微流控芯片PDMS键合、ITO导电玻璃、石墨烯、纤维、单晶硅片、PET、二氧化硅等几乎所有材料的PLASMA处理。
广州善准等离子低温灰化仪VP-RS20,腔体不锈钢材质,功率500W,频率13.56MHz,能对材料起到清洁、刻蚀、活化、改性的作用,满功率运行3分钟,腔体温度不高于45℃,适用于晶圆去胶、煤灰化、碳毯(CF)、微流控芯片PDMS键合、单晶硅片、二氧化硅等几乎所有材料的PLASMA处理。
该仪器为扫描电镜和电子探针等进行试样制备的设备,可进行真空蒸碳、真空镀膜和离子溅射。
善准科技旋转型真空等离子处理仪VP-T3解决了微小颗粒特别是粉末样品PLASMA处理不完全,不均匀的痛点,真空腔体在等离子处理过程中滚动旋转,从而带动粉末样品在真空环境下翻滚,从而确保的样品得到完全、均匀的等离子处理。
等离子清洗机VP-R3真空腔体石英材质,射频频率13.56MHz,功率160W,能对材料起到清洁、刻蚀、活化、改性的作用,满功率运行30分钟,腔体温度不高于32℃,不损伤样品,适用于微流控芯片PDMS键合、ITO导电玻璃、石墨烯、纤维、单晶硅片、PET、二氧化硅等几乎所有材料的PLASMA处理。
善准科技等离子去胶机VP-RS6频率13.56MHz,能对材料起到清洁、刻蚀、活化、改性的作用,腔体不锈钢,功率500W,满功率运行3分钟,腔体温度不高于45℃,适用于晶圆去胶、煤灰化、碳毯(CF)、微流控芯片PDMS键合、单晶硅片、二氧化硅等几乎所有材料的PLASMA处理。
石英管真空封管机VS-Q1采取一体化设计,免去复杂安装,只需要连接真空泵即可使用,石英管旋转速度可调、抽真空速度可调(粉末、块体样品均适用)、充保护气体速度可调,可对外径5mm至50mm、长度80-1500mm的石英管进行真空密封。
真空封管机VS-Q2是由真空封管机+氢氧机+真空泵组成,能够快速简易地对石英管抽真空密封,是对石英管真空密封技术的革新,石英管套在真空封管机上,抽真空的同时封管机使石英管旋转,用氢氧机的火焰枪烧结石英管,可对块状或粉末样品进行抽真空密封。
等离子体低温灰化仪VP-RS20真空腔体不锈钢材质,功率500W,频率13.56MHz,能对材料起到清洁、刻蚀、活化、改性的作用,满功率运行3分钟,腔体温度不高于45℃,不损伤样品,适用于晶圆去胶、煤灰化、碳毯(CF)、微流控芯片PDMS键合、ITO导电玻璃、石墨烯、纤维、单晶硅片、PET、二氧化硅
真空封管机VS-Q1采取一体化设计,免去复杂安装,只需要连接真空泵即可使用,石英管旋转速度可调、抽真空速度可调(粉末、块体样品均适用)、充保护气体速度可调,可对外径5mm至50mm、长度80-1500mm的石英管进行真空密封。
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