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牛津仪器ALD OpAL原子层沉积系统
小规模生产的多种需求实时监测选项,包括与ALD控制软件相联的光谱椭偏仪OpAL系统可通过清晰而易行的途径升级为等离子体,这样便可在一个结构紧凑的设备上实现等离子体和热ALD牛津仪器有大量的工艺储备
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牛津仪器PlasmaPro 100 Cobra刻蚀和沉积设备
PlasmaPro 100系列刻蚀和沉积设备可安装多种衬底电极,能够在很宽的温度范围内进行工艺,具有200mm单晶圆和多晶圆批处理能力,该工艺模块可提供具有高度均匀,高产量和高精度的工艺。
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牛津仪器PlasmaPro 100 PECVD等离子体增强化学气相沉积系统
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牛津仪器Ionfab300刻蚀和沉积设备
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牛津仪器Matrix控制系统
Matrix控制系统是一种全数字控制系统,集成了多处理器技术。 为了向用户提供优质的信号质量、测量速度和实验灵活性,Matrix控制系统的设计理念和架构融合了优越的高速、低噪声的数字电子技术
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牛津仪器OmniGIS II气体注入系统
,从而实现无掩模纳米图案。OmniGIS II,牛津仪器的第二代气体注入系统,具有独特的特性,相比同行业的同类产品,它能使控制水平和准确性达到前所未见的高度。通气口可以自动识别气体源并快 速进行
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牛津仪器INCAEnergy+元素分析系统
INCAEnergy+结合了WDS的高灵敏度、高分辨率和EDS的生产率、易用性。INCAWave软件提供了WDS的灵敏度、分辨率,并提高了生产率。INCAEnergy+ 的WDS和EDS同步采集提供
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牛津仪器TD核磁共振系统MQR
MQR是一种低分辨率、高性能TD-NMR研究系统,用于基于弛豫时间和/或扩散系数的应用。该系统含有一个高性能数字光谱仪,内置 23MHz(0.54T) 永磁体,有 10mm、18mm 和 26mm
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牛津仪器Asylum Research blueDrive光热激发系统
所有AC模式或轻敲模式的驱动响应。也提出过各种各样解决方案,即所谓的“直接驱动”,例如“iDrive?”。最近也有人提出放弃轻敲模式。牛津仪器AsylumResearch认识到光热激发可以明显改善轻敲
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牛津仪器Azteclive能谱实时元素成像系统
AZtecLive是一种变革性的EDS分析方法,可以改变用户在SEM中进行样品筛选的方式。它将实时电子图像与实时X射线元素成像结合起来,为客户提供了一种更为直观的与样品互动的新方式。
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