TESCAN MAGNA 是一款功能极其强大的超高分辨场发射扫描电镜,适用于纳米材料的形貌表征以及微观分析。
TESCAN CLARA FE-SEM 超高分辨场发射扫描电镜
具备高分辨观察和高速元素面分析,能够满足客户的各种需求。该装置配备浸没式肖特基场发射电子枪、新一代电子光学控制系统Neo Engine、一体化EDS、易用的操作导航SEM Center、及可置换的物镜模块。
SEM5000X是一款超高分辨率场发射扫描电子显微镜,其分辨率达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物镜设计、高压隧道技术(SuperTunnel)以及镜筒工艺升级,实现了低电压分辨率的进一步提升。全新设计的样品仓,扩展接口增加至16个,快速换样仓最大支持8寸晶圆(
超高分辨热场发射扫描电镜 自动
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