失效点定位通常指通过各种电性分析找到缺陷失效的点位。 常用设备:EMMI、OBIRCH、Thermal EMMI
、齿形总误差; 2.螺旋线:齿向形状误差、齿向斜率误差、齿向总误差; 3.其他参数:单个齿距误差、累积齿距误差、齿厚、跳动、倾斜角等。 4.系统功能:自动定位装夹、自动建立坐标系
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