拥有丰富的经验。高度敬业的Picosun人员拥有无与伦比的ALD经验,并且为ALD的许多zl做出了贡献。 ALD主要应用:1.在集成电路上的应用:Fin-FET和HKMG工艺在Si衬底上长高K绝缘层
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