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中国科学院大连化学物理研究所微流控芯片课题组
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辽宁省微纳米技术及系统重点实验室
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厦门大学萨本栋微纳米技术研究中心
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粒子物理与粒子辐照教育部重点实验室
。 (二)离子束应用实验平台 该平台的主要研究内容是离子束技术对光学材料、核材料的改性,以及新型微纳结构的设计与表征,以中低能加速器为研究平台,促进其在光子学、信息科学、纳米材料和核材料科学等领域
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微系统与微制造辽宁省省级高校重点实验室
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微纳器件与系统研究室
5.系统封装与集成技术 研究室是我校微米/纳米技术研究中心主要组成单位之一,拥有超净实验室和系列微纳器件与材料制造设备,包括常规CMOS设备、双面光刻机、感应耦合等离子刻蚀机(ICP)、真空键合机
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微纳电子系统集成研究中心
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南京大学纳米压印技术与微纳器件实验室
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北京市纳米光子学与超精密光电系统重点实验室
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纳米光子学与超精密光电系统北京市重点实验室
室 任老师 68913163 3.邮箱:7220121025@bit.edu.cn 纳米光子学与超精密光电系统北京市重点实验室依托于北京理工大学物理学院和光电学院组建
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