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东南大学MEMS教育部重点实验室
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北京大学信科学院微米/纳米加工技术国家级重点实验室
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陕西省微型机械电子系统研究中心
电话:029-82668616 成立于2001年3月,主要从事MEMS设计与工艺、各种MEMS器件、MEMS传感器和相关系统的设计和制作。 主任:蒋庄德 副主任:赵玉龙
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陕西省微纳传感器工程技术研究中心
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微纳制造与测量技术教育部工程中心
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微纳器件与系统研究室
、电路与系统,以及相关新概念与新原理等。目前的主要研究方向包括: 1. 微电子机械系统(MEMS)及微型传感器 2.微流体与生物医学传感器及系统 3..纳电子与量子器件 4.新型不挥发存储器
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厦门大学集成电路设计工程技术研究中心
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福建省集成电路设计工程技术研究中心
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厦门大学萨本栋微纳米技术研究中心
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北京市硅基高速片上系统工程技术研究中心
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