所 华南师范大学光电子材料与技术研究所(简称“材料所”)是专门从事光电子材料的MOCVD生长、性能分析、器件制备及应用的研究机构,是以刘颂豪院士、范广涵教授为学科带头人,在原来MOCVD实验室的基础上于2002年8月成立的。现任所长为梅霆
广东省光电 光电材料
领域人才培养的重要基地,近五年培养出150余名硕士,80余名博士。 实验室具有良好的研究设备和条件,实验室面积约2000余平米,其中超净实验室200余平米,拥有GaN专用MOCVD设备,ZnO专用MOCVD设备,激光MBE
辽宁省
了厦门市产学研基地。目前中心承担863、973、国家自然科学基金等纵向科研项目十多项。 中心已建有的主要设备有: 1. 金属有机物化学气相沉积(MOCVD)系统,将着重开展GaN基半导体异质结构、多量子阱结构等学术研究及其相关
福建省
、电镀与腐蚀设备、MOCVD、六靶超高真空溅射系统、离子束刻蚀机,以及包括扫描电镜、扫描探针显微镜(SPM)等在内的多种表面形貌表征、材料和电子性能测试的仪器和设备,可进行多种微纳电子器件的材料、结构和电路的研究。 研究室承担过“七五
北京市
CAOT 22i喷涂胶机系统、ZSH406全自动划片机、DQ-500等离子去胶机、全自动清洗甩干机、AXTRON MOCVD金属有机物化学气相沉积系统、4470微控四管扩散炉、4371LPCVD低压化学沉积系统、OMICRON分子束外延
福建省微纳米 纳米
deposition (MOCVD), magneto-sputtering system (MSS), Fourier transform infrared spectrometer (FTIS), photoluminescence system
北京市光电材料 半导体硅材料
信息材料制备(包括GaN-MOCVD、GaN-HVPE、ZnO、SiC、纳米Si)和材料物性表征(包括Hall测量、光学测量、X射线衍射、阴极荧光联合分析系统)共9个专门实验室,并有用于器件制备的南京大学微加工中心。这些实验室拥有较完善的系列
江苏省
拓展碳纳米管的自组装途径提供了新思路。基于这一新技术制备得到的碳纳米管多面体在超滤、微纳反应器、催化等领域有潜在的应用前景。(5)用于ZnO薄膜生长的MOCVD系统、用于制备ZnO和各种氧化物薄膜的激光MBE设备,其性能接近国际先进水平
扩散炉,匀胶台,热板,曝光机,湿法腐蚀台,磁控射频溅射台,ICP,PECVD,MBE,MOCVD,真空蒸发台,精密电铸机,等离子去胶机,静电键合机,引线键合机,塑料微流控芯片自动成形与对准装配系统(热压机、键合机),半导体真空预处理器,快速
制备方面,拥有先进的 CG6000大直径硅单晶生长炉、超高真空 CVD外延设备以及MOCVD、液相外延炉、磁控溅射和热蒸发薄膜生长设备等。在半导体分析测试方面,拥有Bede D1 光衍射仪器、SSM—350扩展电阻仪,傅立叶红外光
浙江省半导体硅材料 半导体材料
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