开始集成传感器的研究,并于 1985 年在欧洲固态电子器件会议《 ESSDERC ¢85 ,Germany, p.88 》报道了集成 MOS 流量传感器的研究结果;1986 年开始了硅片直接键合技术研究,并于1987年在《 Applied
江苏省集成 MOS
成为全球大学校园内一流的微电子工艺实验平台,也是国际上为数不多的能够同时进行金属氧化物半导体(MOS)器件工艺和硅基微电子机械系统(MEMS)技术研究的实验室。实验室的研究方向为:基于硅微电子工艺的三维微纳加工工艺;MEMS/NEMS与
北京市
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