(EPMA-1600)、太阳能电池测试仪、真空镀膜机(DM-450C)、四元共蒸发镀膜设备、磁控溅射、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)、离子刻蚀机、直拉单晶炉、双辉光等离子体渗金属炉等先进大型仪器设备,同时还拥有显微硬度计、自动椭圆偏振
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系统、JS- 3X100B磁控溅射台、PECVD-2E等离子淀积台、ZZSX500C电子束蒸发台、JC500-3/D磁控溅射镀膜机、石英管清洗机,以及多种常用测试仪器, 如OLS1100激光共聚焦显微镜、DEKTAK-III台阶测量仪
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扩散炉,匀胶台,热板,曝光机,湿法腐蚀台,磁控射频溅射台,ICP,PECVD,MBE,MOCVD,真空蒸发台,精密电铸机,等离子去胶机,静电键合机,引线键合机,塑料微流控芯片自动成形与对准装配系统(热压机、键合机),半导体真空预处理器,快速
辽宁省
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