、电镀与腐蚀设备、MOCVD、六靶超高真空溅射系统、离子束刻蚀机,以及包括扫描电镜、扫描探针显微镜(SPM)等在内的多种表面形貌表征、材料和电子性能测试的仪器和设备,可进行多种微纳电子器件的材料、结构和电路的研究。 研究室承担过“七五
北京市
曝光光刻机、纳米压印设备、电子束蒸发镀膜机、反应离子束刻蚀系统等先进的微加工设备,以及扫描电子显微镜、显微共聚焦光谱测试系统、低温强磁场光学近场显微系统、飞秒激光器、半导体参数测试系统等光学测试设备,可以完成微纳器件的光电性能的综合测试
线,与知名企业建立了深入的产学研合作,引入外部资本创立了专业企业。 在超精密微纳加工方向,MNMT专注于光学自由曲面加工、硬脆性材料复杂曲面加工、聚焦离子束纳米加工、精密微注塑、压铸技术等方面的研究与开发。在前沿科技领域开展创新
天津市
复旦大学微纳光子结构教育部重点实验室于2009年11月通过教育部验收,正式开放运行。 实验室在微纳光子结构领域汇聚复旦大学优秀学科研究力量,逐渐形成了有我国特色并在国际上有着一定影响的研究方向。 主要研究方向为四个
上海市
万元。实验室目前正积极开展无机微纳功能材料的相关研究,不断拓宽自身的研究领域,努力促进先进设施和技术信息等资源的共享,积极为产业的可持续发展提供创新性的解决方案,在与各方互惠互利的合作过程中实现自身科研水平的提高。 电流变液 锂离子
浙江省电流变液 锂离子电池
,发挥中国科学技术大学和中科院微电子研究所各自在基础与系统研究和高新技术与工艺研发上所具有的优势,适应微纳电子学科向科学化、系统化与多学科交叉方向发展,中国科学技术大学与中科院微电子研究所将共建“微纳电子系统集成研究中心”(下称“共建
安徽省
。在非硅微纳制造基础理论和应用技术领域取得了大量开创性成果,建立的等离子量子模型,预测了激光微纳制造中的若干反常物理现象;改进了著名的双温度方程,解决了10余年来一直未能突破的难题;提出的基于电子动态调控(Electron Dynamics
220号先进材料楼1楼东侧,邮编:200433 复旦大学微纳加工和器件公共实验室成立于2011年6月。实验室由物理系系主任沈健教授牵头,物理系和微电子系共同参与建设和运转。 纳米科技在高科技领域中具有重要战略地位,但加工
万元以上。中心以高温、高压压力传感器、高频、微型、力、加速度等特殊需求传感器及数据记录仪作为主要加工、生产方向,建设完成了专用的MEMS微纳传感器及数据记录仪的生产和检验工艺线,建立了完善的传感器测试平台,通过了ISO9000质量管理体系认证及GJB9001B-2009国军标体系认证。
陕西省
光栅,多层膜/表面等离激元结构与微结构光子器件,高密度生物芯片等的研究工作。所获奖项/认证南京大学材料科学与工程系 纳米压印技术与微纳器件实验室 地址:南京市汉口路22号 邮编:210093 电话:(025)83686053 网址
江苏省纳米压印技术 微结构光子器件
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