麦克风、微扬声器、超声器件 [4] 光学器件:微机械光开关、滤波器、压电执行器 [5] 能源器件:微型燃料电池、微型三维超级电容、微型能量收集器 [6] 微纳制造技术:表面微加工技术,体微加工技术,干法和湿法深刻蚀技术,双面光刻,厚胶光刻,键合,电镀等 (2) 微流体与生物医学微系统BioMEMS
北京市
曝光光刻机、纳米压印设备、电子束蒸发镀膜机、反应离子束刻蚀系统等先进的微加工设备,以及扫描电子显微镜、显微共聚焦光谱测试系统、低温强磁场光学近场显微系统、飞秒激光器、半导体参数测试系统等光学测试设备,可以完成微纳器件的光电性能的综合测试
宁波市无机微纳功能材料及应用重点实验室于2009年在中科院宁波材料与技术工程研究所成立。实验室以应用需求为源,创新设计为本,中试工艺关 键技术的突破集成为示范,在进行无机微纳米材料的制备及应用的研究中,重点开展颗粒的成核、结晶
浙江省电流变液 锂离子电池
、光机电微纳米制造北京市交叉二级学科,具有多学科交叉融合的特色和优势。开拓了激光微纳制造理论与应用、微纳装配与检测技术、微系统设计、制造与集成、微纳器件制造、纳米材料制备及性能调控等优势研究方向。重点实验室目前已形成了一支20名教授、17名
复旦大学微纳光子结构教育部重点实验室于2009年11月通过教育部验收,正式开放运行。 实验室在微纳光子结构领域汇聚复旦大学优秀学科研究力量,逐渐形成了有我国特色并在国际上有着一定影响的研究方向。 主要研究方向为四个
上海市
微纳制造与测量技术教育部工程研究中心暨天津市微纳制造技术工程中心(简称MNMT),依托于天津大学精密仪器与光电子工程学院、精密测试技术及仪器国家重点实验室、微纳制造与测试研究所,主要从事微机电系统(MEMS)、超精密微纳加工、微纳
天津市
,发挥中国科学技术大学和中科院微电子研究所各自在基础与系统研究和高新技术与工艺研发上所具有的优势,适应微纳电子学科向科学化、系统化与多学科交叉方向发展,中国科学技术大学与中科院微电子研究所将共建“微纳电子系统集成研究中心”(下称“共建
安徽省
2008年度江苏省科技进步一等奖(基础类研究成果)。 在微纳流体器件的制造技术研究方面:先后开发了具有自主产权的载药纳米颗粒涂层支架、低成本微
江苏省
220号先进材料楼1楼东侧,邮编:200433 复旦大学微纳加工和器件公共实验室成立于2011年6月。实验室由物理系系主任沈健教授牵头,物理系和微电子系共同参与建设和运转。 纳米科技在高科技领域中具有重要战略地位,但加工
万元以上。中心以高温、高压压力传感器、高频、微型、力、加速度等特殊需求传感器及数据记录仪作为主要加工、生产方向,建设完成了专用的MEMS微纳传感器及数据记录仪的生产和检验工艺线,建立了完善的传感器测试平台,通过了ISO9000质量管理体系认证及GJB9001B-2009国军标体系认证。
陕西省
质谱盛会西安开幕:汇聚全球智慧 共绘质谱新章
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