15353648202 传真:029-33690100 E-mail:wk2136722@163.com 网址:www.kyygjc.com 陕西科仪阳光检测技术服务有限公司是具有独立
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曝光光刻机、纳米压印设备、电子束蒸发镀膜机、反应离子束刻蚀系统等先进的微加工设备,以及扫描电子显微镜、显微共聚焦光谱测试系统、低温强磁场光学近场显微系统、飞秒激光器、半导体参数测试系统等光学测试设备,可以完成微纳器件的光电性能的综合测试
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,表面轮廓仪(膜厚、应力、粗糙度等),扫描探针显微镜(AFM+STM),扫描电镜,Olympus倒置显微镜,显微立体拍照及测量系统,激光诱导荧光检测系统,Mahr电感测微仪,微力测试系统。 二、微加工工艺设备 氧化
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、D41-11A/ZN四探针电阻测试仪、Nikon L150金相显微镜等。 中心成立以来已经承担多项国家级、省部级科研课题以及企业合作重大课题。目前正在进行与生物医学工程、航空航天、通讯工程、汽车工业、新能源等行业相关的微纳米器件及系统的研究和开发,并不断拓展合作研究与开发的新领域。微纳米 纳米 纳米管 纳米器件 微纳米材料
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地址:辽宁省大连市甘井子区凌工路2号 邮编:116023 电话:0411-84707713 传真:0411-84707940 Mail:memslab@dlut.edu.cn 辽宁省微纳米技术及系统重点实验室
, Fax: 62771130, Email: z.wang @ tsinghua.edu.cn 微纳器件与系统研究室主要从事新型微纳电子器件及其系统的研究,主要研究范围包括:微纳新器件材料及结构、微纳制造工艺技术
完成人 在汽相中制备自组装单分子膜的方法及汽相组装仪
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复旦大学微纳光子结构教育部重点实验室于2009年11月通过教育部验收,正式开放运行。 实验室在微纳光子结构领域汇聚复旦大学优秀学科研究力量,逐渐形成了有我国特色并在国际上有着一定影响的研究方向。 主要研究方向为四个
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万元以上。中心以高温、高压压力传感器、高频、微型、力、加速度等特殊需求传感器及数据记录仪作为主要加工、生产方向,建设完成了专用的MEMS微纳传感器及数据记录仪的生产和检验工艺线,建立了完善的传感器测试平台,通过了ISO9000质量管理体系认证及GJB9001B-2009国军标体系认证。
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,发挥中国科学技术大学和中科院微电子研究所各自在基础与系统研究和高新技术与工艺研发上所具有的优势,适应微纳电子学科向科学化、系统化与多学科交叉方向发展,中国科学技术大学与中科院微电子研究所将共建“微纳电子系统集成研究中心”(下称“共建
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