、电镀与腐蚀设备、MOCVD、六靶超高真空溅射系统、离子束刻蚀机,以及包括扫描电镜、扫描探针显微镜(SPM)等在内的多种表面形貌表征、材料和电子性能测试的仪器和设备,可进行多种微纳电子器件的材料、结构和电路的研究。 研究室承担过“七五
北京市
地址:辽宁省大连市甘井子区凌工路2号 邮编:116023 电话:0411-84707713 传真:0411-84707940 Mail:memslab@dlut.edu.cn 辽宁省微纳米技术及系统重点实验室
辽宁省
曝光光刻机、纳米压印设备、电子束蒸发镀膜机、反应离子束刻蚀系统等先进的微加工设备,以及扫描电子显微镜、显微共聚焦光谱测试系统、低温强磁场光学近场显微系统、飞秒激光器、半导体参数测试系统等光学测试设备,可以完成微纳器件的光电性能的综合测试
、高端微纳尺度测量技术及相关仪器系统的研究,在微结构光学测试技术(微视觉、反射差分光谱、显微干涉、X射线三维显微成像等)和扫描探针测试技术等方面取得了系列化的创新成果。自主研制成功多套微结构几何量和机械量光学测试系统和原子力显微镜,解决了超薄
天津市
,表面轮廓仪(膜厚、应力、粗糙度等),扫描探针显微镜(AFM+STM),扫描电镜,Olympus倒置显微镜,显微立体拍照及测量系统,激光诱导荧光检测系统,Mahr电感测微仪,微力测试系统。 二、微加工工艺设备 氧化
复旦大学微纳光子结构教育部重点实验室于2009年11月通过教育部验收,正式开放运行。 实验室在微纳光子结构领域汇聚复旦大学优秀学科研究力量,逐渐形成了有我国特色并在国际上有着一定影响的研究方向。 主要研究方向为四个
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,发挥中国科学技术大学和中科院微电子研究所各自在基础与系统研究和高新技术与工艺研发上所具有的优势,适应微纳电子学科向科学化、系统化与多学科交叉方向发展,中国科学技术大学与中科院微电子研究所将共建“微纳电子系统集成研究中心”(下称“共建
安徽省
中国分析测试协会(CAIA)优秀青年工作者 中国分析测试协会 合肥微尺度物质科学国家实验室 中国科学技术大学 安徽省合肥市金寨路96号 邮编
安徽省原子分子科学 低维物理与化学
于德爽 2009年 山东省微复合材料重点实验室 地址:山东省济南市省府前街1号 邮编:250011 网址
山东省新材料 材料
220号先进材料楼1楼东侧,邮编:200433 复旦大学微纳加工和器件公共实验室成立于2011年6月。实验室由物理系系主任沈健教授牵头,物理系和微电子系共同参与建设和运转。 纳米科技在高科技领域中具有重要战略地位,但加工
质谱盛会西安开幕:汇聚全球智慧 共绘质谱新章
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国办印发《关于创新完善体制机制 推动招标投标市场规范健康发展的意见》
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