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非硅微纳制造工业和信息化部重点实验室
联系人:胡洁 联系电话:010-68914987 非硅微纳制造工业和信息化部重点实验室 英文名称:Key Laboratory of Nontraditional Micro/Nano
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微纳器件与系统研究室
5.系统封装与集成技术 研究室是我校微米/纳米技术研究中心主要组成单位之一,拥有超净实验室和系列微纳器件与材料制造设备,包括常规CMOS设备、双面光刻机、感应耦合等离子刻蚀机(ICP)、真空键合机
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微纳光子结构教育部重点实验室
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北京理工大学微纳技术中心
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微纳制造与测量技术教育部工程中心
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四川大学纳光子技术研究所
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微纳电子系统集成研究中心
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复旦大学微纳加工与器件公共实验室
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宁波市无机微纳功能材料及应用重点实验室
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南京大学纳米压印技术与微纳器件实验室
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