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厦门大学萨本栋微纳米技术研究中心
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辽宁省微纳米技术及系统重点实验室
地址:大连市高新园区凌工路2号大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室 电话:+86-411-84707713 E-mail: memslab@dlut.edu.cn 邮编:116024 传真
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南京大学纳米压印技术与微纳器件实验室
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北京市硅基高速片上系统工程技术研究中心
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微系统与微制造辽宁省省级高校重点实验室
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厦门大学纳米催化材料实验室
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微纳器件与系统研究室
5.系统封装与集成技术 研究室是我校微米/纳米技术研究中心主要组成单位之一,拥有超净实验室和系列微纳器件与材料制造设备,包括常规CMOS设备、双面光刻机、感应耦合等离子刻蚀机(ICP)、真空键合机
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北京理工大学微纳技术中心
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合肥微尺度物质科学国家实验室(筹)
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复旦大学微纳加工与器件公共实验室
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