仪器名称:真空互联-分子束外延系统(半导体)仪器编号:21028773产地:日本生产厂家:EpiQuest Inc型号:RC2100Se出厂日期:购置日期:2021-11-18所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>真空互联放置地点
仪器名称:真空互联-分子束外延系统(金属)仪器编号:21028618产地:日本生产厂家:EpiQuest Inc型号:RC2100Me出厂日期:购置日期:2021-11-18所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>真空互联放置地点:微电子学
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