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X射线反射和多晶X射线衍射技术 在半导体晶圆上氧化铪薄膜制程中的应用
布鲁克纳米表面仪器部 向前 在半导体集成电路生产中的以氧化铪为代表的HKMG (High-k Metal Gate) 超薄膜制程中,常常用到X射线反射(XRR)以及多晶X射线
2022-04-29来源: 布鲁克纳米表面仪器 -
解析:半导体nm制程指的是哪里?
2020-10-19来源: 互联网 -
如何在电浆蚀刻制程中控制晶圆的制程均匀度?
2020-10-20来源: 互联网 -
解析先进半导体制程未来可能面临的挑战及解决办法-2
2020-10-26来源: 互联网 -
X射线衍射成像技术(XRDI)在半导体退火制程中进行晶圆破裂和缺陷形成机理诊断的应用
布鲁克纳米表面仪器部 向前 博士 X射线测量技术已经被逐步应用于半导体集成电路芯片的生产制程中。在半导体生产制程中,硅晶圆内部的不可视缺陷 (NVD, Non-Visual Defect
2022-07-17来源: 布鲁克纳米表面仪器 -
一篇文章说清半导体制程发展史(四)
2020-10-12来源: 互联网 -
一文读懂半导体制程技术进步的“燃料”——光刻胶
2020-11-30来源: 互联网 -
看,如何提升制程稳定性!
2021-07-23来源: 雷尼绍Renishaw -
一文读懂IC设计/晶圆/纳米制程/封装都是啥?(二)
2020-10-26来源: 互联网 -
解析先进半导体制程未来可能面临的挑战及解决办法-1
2020-10-26来源: 互联网
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