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一、XPS的历史X 射线光电子能谱(XPS)也被称作化学分析电子能谱(ESCA)。该方法首先是在六十年代由瑞典科学家K.Siebabn 教授发展起来的。这种能谱最初是被用来进行化学元素的定性分析,现在已发展为表面元素定性、半定量分析及元素
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元素以质子数顺序进行排列,揭示了元素世界的奥秘。20世纪60年代,XPS仪器技术由瑞典Uppsala大学的K.Siegbahn和其合作者建立起来,X射线光电子能谱最初被称为化学分析用电子能谱(Electron Spectroscopy
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。但是,对于体相的检测灵敏度仅为0.1%(原子分数,即元素的检测限)左右。X光电子能谱法作为表面分析方法,提供的是样品表面的元素含量与形态,而不是样品整体的成分。XPS其表面采样深度(d=3λ)与材料性质、光电子的能量有关,也同样品表面和
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一、超高真空系统超高真空系统是进行现代表面分析及研究的主要部分。XPS谱仪的激发源,样品分析室及探测器等都安装在超高真空系统中。通常超高真空系统的真空室由不锈钢材料制成,真空度优于1×10-9 托。在X射线光电子能谱仪中必须采用超高真空
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氧元素是自然界中广泛存在的化学元素之一,它在许多化学反应以及生命活动中都扮演着重要的角色。在研究氧元素的性质时,人们通常会采用X射线光电子能谱(XPS)这种表面分析技术进行研究。然而,对于氧元素的XPS谱线,人们却发现出现了三个峰
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X光电子能谱分析的基本原理 X光电子能谱分析的基本原理:一定能量的X光照射到样品表面,和待测物质发生作用,可以使待测物质原子中的电子脱离原子成为自由电子。该过程可用下式表示:hn=Ek+Eb+Er (1) 其中:hn:X光子的能量
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X射线光电子能谱(XPS)也被称作化学分析电子能谱(ESCA)。该方法首先是在六十年代由瑞典科学家K.Siebabn 教授发展起来的。这种能谱最初是被用来进行化学元素的定性分析,现在已发展为表面元素定性、半定量分析及元素化学价态分析的
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瑞典研究小组观测到光峰现象,并发现此方法可以用来研究元素的种类及其化学状态,故而取名“化学分析光电子能谱(Eletron Spectroscopy for Chemical Analysis-ESCA)。X射线光电子能谱分析的基本原理:用
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其他元素的干扰峰。激发出来的光电子依据激发轨道的名称进行标记。如从C原子的1s轨道激发出来的光电子用C 1s标记。由于X射线激发源的光子能量较高,可以同时激发出多个原子轨道的光电子,因此在XPS谱图上会出现多组谱峰。大部分元素都可以激发出多组
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的Si2p谱。[1]岛津新型光电子能谱仪AXIS Supra+拥有高性能的单色器配置,罗兰圆直径达500mm,通常采用Ag 3d5/2的半峰宽来评判XPS仪器的分辨率,单色化X射线源可使得Ag 3d5/2的分辨率(半峰宽)由1eV左右提升