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极紫外光源技术项目通过验收
2021-09-30来源: 中科院大连化物所 -
利用相干台面式极紫外光源对纳米结构图案进行层叠成像
2018-11-26来源: 中国光学期刊网 -
光刻机的性能指标
工艺等各方面的限制。 对准精度是在多层曝光时层间图案的定位精度。 曝光方式分为接触接近式、投影式和直写式。 曝光光源波长分为紫外、深紫外和极紫外区域,光源有汞灯,准分子激光器等。
2021-04-17来源: 网络 -
杨学明:“点亮”世界上最耀眼的极紫外光源
2022-05-16来源: 科技日报 -
我国成功研制世界上最亮极紫外光源
2017-01-16来源: 中国青年报 -
光刻机的性能指标
工艺等各方面的限制。 对准精度是在多层曝光时层间图案的定位精度。 曝光方式分为接触接近式、投影式和直写式。 曝光光源波长分为紫外、深紫外和极紫外区域,光源有汞灯,准分子激光器等。
2021-09-01来源: 网络 -
细说接触式光刻机的使用原理及性能指标
2021-04-16来源: 丁香通 -
光刻机的紫外光源
2021-09-01来源: 网络 -
极紫外激光的可靠光源?少周期飞秒驱动源激光脉冲产生
2021-09-07来源: 中国科学院物理研究所 -
下一代“大连光源”亮度将提高1万倍
2019-03-12来源: 科技日报
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