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微电子领域摩尔定律轨迹的延续助力--氧化铪
2018-11-13来源: 牛津仪器科技(上海)有限公司 -
X射线反射和多晶X射线衍射技术 在半导体晶圆上氧化铪薄膜制程中的应用
布鲁克纳米表面仪器部 向前 在半导体集成电路生产中的以氧化铪为代表的HKMG (High-k Metal Gate) 超薄膜制程中,常常用到X射线反射(XRR)以及多晶X射线
2022-04-29来源: 布鲁克纳米表面仪器 -
Scientific reports: 半导体先进制程中测量并判断基底粗糙度对上层超薄氧化铪薄膜粗糙度的影响
2022-02-20来源: 布鲁克纳米表面仪器 -
氧化铪基铁电存储材料研究取得进展
2023-08-25来源: 微电子研究所 -
俄罗斯科研人员发现介电材料二氧化铪的发光特性
2022-10-09来源: 互联网 -
首次研制与CMOS兼容的氧化铪基反铁电神经元
2022-11-29来源: 中国科学报 -
氧化铪基铁电存储材料研究取得进展
2023-08-22来源: 微电子研究所 -
多功能真空镀膜机的主要功能简介
2021-10-19来源: 网络 -
常用的物理镀膜方法有几种
2022-07-05来源: 互联网 -
电子束蒸发制取二氧化铪(HfO2)的镀膜参数
2022-07-06来源: 互联网
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