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磁控溅射技术不仅是科学研究和精密电子制造中常用的薄膜制备工艺技术,经过多年的不断完善和发展,该技术也已经成为重要的工业化大面积真空镀膜技术之一,广泛应用于玻璃、汽车、医疗卫生、电子工业等工业和民生领域。例如,采用磁控溅射工艺生产镀膜
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体。离子以1-3kev的能量轰击阴极靶,当其能量高于靶材原子的结合能时,靶材原子或者原子簇,脱离靶材,又经过与等离子体中的残余气体碰撞,因此方向 各异,当落在样品表面时,可以在粗糙的样品表面形成厚度均一的金属薄膜,而且与样品的结合强度高。如果
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为了清洁被污染的固体表面,在X射线光电子能谱分析中,常常利用离子枪发出的离子束对样品表面进行溅射剥离,以清洁表面。利用离子束定量地剥离一定厚度的表面层,然后再用XPS分析表面成分,这样就可以获得元素成分沿深度方向的分布图,这是离子束最重
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。 上世纪五十年代Schneider等采用离化溅射和平衡磁控溅射制备氧化铝薄膜,当增加偏压后,薄膜硬度是未加偏压的2倍。 1981年Maniv等在基底和靶之间设置栅板,使反应气体和Ar气分隔两侧,极大地改善了迟滞。 上世纪九十年代,中国的
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偏离样品。经过这样的改造,当然会增加很高的成本。可以在石蜡表面溅射一层金属,而没有任何损伤! 5、真空中的杂质越多,镀膜质量越差。一般黄金比较稳定,可以采用空气作为等离子气源,而其他很多靶材则需要惰性气体为好。 6、气体原子序数越高
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氧化铟锡 ITO 薄膜 具有高电导率和可见光透过率、紫外光区强吸收、红外区域高反射等特性, 已经广泛应用于太阳能电池、等离子体液晶显示器以及平板显示器等领域. 某光学薄膜制造商用伯东 KRI 射频离子源 RFICP 220 辅助磁控溅射
2020-10-21
来源: 伯东企业(上海)有限公司
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扫描电子显微镜 (SEM) 是一种多功能的工具,在大部分时候,无需什么样品制备,即可提供各种样品的纳米级信息。而在某些情况下,为了获得更好的SEM图像,会推荐或甚至有必要结合喷金仪(离子溅射仪)使用SEM。在这篇博客中,我们将解释喷金仪是
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故障现象:使用一段时间后,溅射电流变小 解决方法:对靶材有无变色、破裂和油污等现进行检查。前两者对靶材进行更换,后者被油蒸汽污染,通过无水乙醇进行清洁,等到干了以后才能够抽真空。 故障现象:在使用一段时间以后,有着过低的真空
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的薄膜和表面特性, 而这些特性在不使用 KRI 离子源技术的情况下是无法实现的. 因此, 该研究项目才采用 KRI 考夫曼射频离子源 RFCIP220 辅助溅射沉积工艺. 伯东是德国 Pfeiffer 真空泵, 检漏仪, 质谱仪
2021-02-22
来源: 伯东企业(上海)有限公司
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射频离子源钛金属具有许多优异的性能, 例如低密度/ 高熔点/ 耐腐蚀/ 无磁性和硅基衬底结合力好/ 具有形状记忆和吸氢特性等, 因此对于磁控溅射沉积钛薄膜的研究有很多. 上海某大学研究室在多层钛膜做微观结构的研究中采用 KRI 考夫曼射频
2021-02-25
来源: 伯东企业(上海)有限公司