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等离子清洗机在光学仪器上的应用
须经过离心力清洗机和超声波清洗机清洗, 但若想要得到超洁净的基体表面,则需进一步的采用等离子体清洗,不仅能去除表面经离心力清洗和超声波清洗后的有机残留物,还能对于后道镀膜技术起到积极作用。
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