以及它们可能对晶圆产生的影响有大致了解和认知,但对其它AMC的存在和可能影响还是一知半解。现在市面上能够实时检测并出数,并能高灵敏度覆盖大部分目标AMCs的检测手段在半导体产业还没有常规使用或者缺失。Vocus CI-TOF质谱仪,借助于
来源:TOFWERK中国-南京拓服工坊 应用
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