,污染样品和末级光阑。电子束扫描样品时,会被电子束诱导沉积到正在观察的样品区域表面,越高倍,沉积速度越快,污染降低se产额,从而降低成像分辨率;末级光阑在电子束作用下,最容易沉积污染物,污染的随机变化,在高倍引起的象散需要随时进行校正。往往
来源:COXEM Co.,Ltd.库赛姆中国/北京天耀科技有限公司 资料
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