技术指标1) 升压器容量:1.5 kVA2) 升压速度:2.0 kV/s,2.5 kV/s,3.0 kV/s,3.5 kV/s 四档任选3) 输出电压:(0~80)kV4
200 kV4) 样品台样品台 全对中侧插式测角台样品尺寸 直径3mm样品倾斜角 zei大25°(使用双倾台)移动范围 X/Y:±1.0mm(马达驱动) 球差校正器照明系统的球差校正器(STEM
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