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日本ULVAC油旋片式真空泵
技术参数: ■油旋片式真空泵 型式 排气速度L/min 到达压力Pa GLD-051 50 6.7×10-2 GLD-136A 135 6.7×10-2 GLD-201A 200
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溅射设备:CS-200z
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刻蚀设备:NLD-570
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蒸发设备:蒸发Ei系列 ei-501z
Batch式高真空蒸发设备ei系列是可对应在基板上成金属膜或氧化物膜的设备。可通过操作面板进行集中控制,实现抽真空、成膜等作业内容的集中自动化操作,适用于研究开发及少量生产
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真空泵
Ulvac” 真空泵 G-系列, 两-阶段, 直接传动& 密封油的转台式类型, 6~120升 用途及特点 ■ 两-阶段真空泵 ■ 把手简便 ■ 外形美丽, 高质量 ■ 保护过热系统 ■ 安全气体阀
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日本ULVAC油旋片式真空泵/膜片型干式真空泵/涡旋型干式真空泵
技术参数: ■油旋片式真空泵 型式 排气速度L/min 到达压力Pa GLD-051 50 6.7×10-2 GLD-136A 135 6.7×10-2 GLD-201A 200
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溅射设备:CS-200z
在真空条件下,氩气在DC或RF作用下产生氩离子,高能的氩离子撞击靶材 产生溅射。溅射出的原子或分子离开靶材,沉积在基板表面,形成薄膜。成膜种类:金属,合金材料,SiO2,TaN,陶瓷等。成膜面积
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蒸发设备:蒸发Ei系列 ei-501z
1.Batch式高真空蒸发设备ei系列是可对应在基板上成金属膜或氧化物膜的设备。可通过操作面板进行集中控制,实现抽真空、成膜等作业内容的集中自动化操作,适用于研究开发及少量生产2.蒸发材料:金属
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日本ULVAC油旋片式真空泵/膜片型干式真空泵/涡旋型干式真空泵多种真空泵
技术参数:■油旋片式真空泵型式排气速度L/min到达压力PaGLD-05150 6.7×10-2GLD-136A 135 6.7×10-2GLD-201A 200 6.7×10-2GHD-030 30
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真空泵 日本ULVAC油旋片式真空泵/膜片型干式真空泵/涡旋型干式真空泵多种
技术参数:■油旋片式真空泵型式:排气速度L/min 到达压力PaGLD-0515:6.7×10-2GLD-136A:1356.7×10-2GLD-201A:2006.7×10-2GHD-0303
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