。 作为项目负责人,承担某型光刻装备项目曝光系统研制、国家重点研发计划、国家自然科学基金、四川省应用基础研究(面上项目)、四川省融合类研究项目等课题;作为主要研究人员,参与多个02专项、国家重大科研仪器装备项目的研制工作。在上述项目...
中国科学院光电技术研究所副研究员)
高级工程师高级工程师彭开武,男,高级工程师。1999年开始在中国科学院电工研究所微纳加工研究室从事基于电子显微镜(含扫描电镜与透射电镜)的电子束曝光机的研制工作, 先后参与四项中国科学院知识创新/仪器改造项目,其中2003年以...
国家纳米科学中心 高级工程师
、涉及的基础理论知识有深入的了解。除基础科研以外,本课题组还积极与产业界开展合作,已承担了若干高技术公司的与光化学相关的研究项目。课题组购买了接触式掩膜对准曝光机( 光刻机 ,i-line),用于光敏剂以及相应的光刻胶(如光敏聚酰亚胺,即PSPI,等等)、光刻工艺等的研发。...
大连理工大学化工学院教授
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