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FIB(聚焦离子束)技术应用实验室
一、FIB技术特长 针对0.18微米线宽以下多层铜布线芯片的修改工艺 针对模拟信号IC芯片的低阻值连接 针对长距离连线的低阻值连接 新型气体源FIB切割加工服务 二
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福建省等离子体与磁共振研究重点实验室
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分数域信号与系统北京市重点实验室
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清华大学低碳能源实验室
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低维量子物理国家重点实验室
地址:北京市海淀区清华大学低维量子物理国家重点实验室理科楼 B-414 邮编:100084 电话:86-10-62795188 传真:86-10-62781604 电邮
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国家能源煤炭清洁低碳发电技术研发(实验)中心
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江苏省低维材料化学重点建设实验室
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广东省低碳化学与过程节能重点实验室
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低维物理与化学研究部
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高效低排放内燃机技术工业和信息化部重点实验室
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