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北京理工大学微纳技术中心
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厦门大学萨本栋微纳米技术研究中心
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低维量子物理国家重点实验室
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微纳器件与系统研究室
5.系统封装与集成技术 研究室是我校微米/纳米技术研究中心主要组成单位之一,拥有超净实验室和系列微纳器件与材料制造设备,包括常规CMOS设备、双面光刻机、感应耦合等离子刻蚀机(ICP)、真空键合机
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西安交大机械制造系统工程国家重点实验室
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北京大学信科学院微纳加工实验室(校级公共平台
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北京大学新材料测试中心
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辽宁省太阳能光伏系统重点实验
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中国科学院物理研究所
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厦门大学半导体光子学研究中心
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