材料分析的能力。同时,实验室还不断地拓展该加速器的应用领域,除了实现离子束分析等基本功能外,还开展了高能离子注入、生物辐照、团簇与物质相互作用等研究。目前实验室主任为郑涛副教授,仪器设备管理员为丰伟静老师。
北京市
)、等离子源离子注入装置、半导体激光焊接机、多弧离子镀装置(俄罗斯)等设备。 主要研究方向为各种先进材料的特种精密热加工成形新技术和新工艺,包括精密铸造、精密塑性成形、特种热处理;实验室还开展精密热加工工艺过程自动化和
黑龙江
联系人:吴忠振 特聘研究员 Email:wuzz@pkusz.edu.cn 实验室简介: 长期聚焦于以等离子体物理为基础的物理气相沉积技术(高功率脉冲磁控溅射HiPIMS、常规溅射技术、阴极弧、离子注入、微
广东省
投资组建的国家级研发中心。中心成立于2001年2月,拥有等离子体复合表面强化处理、离子注入、离子镀、微弧氧化、磁控溅射等九项863计划科研成果,专业从事模具、刃具、钻头、精密部件、异形部件、各种电子通讯产品、工艺礼品等产品批量处理加工,开展
广东省材料表面处理
大专院校唯一的5英寸深亚微米集成电路开发与工业性试验线,拥有包括外延、光刻、刻蚀、离子注入、氧化扩散、薄膜溅射及WAT测试等多台大型设备在内的深亚微米集成电路成套工艺设备,超净实验面积960平方米,是中国北方微电子研究开发基地的重要组成部分
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