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在XPS谱图中,包含极其丰富的信息,从中可以得到样品的化学组成,元素的化学状态及其各元素的相对含量。XPS谱图分为两类,一类是宽谱(wide)。当用AlKα或MgKα辐照时,结合能的扫描范围常在0-1200eV或 0-1000eV。在宽谱
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XPS能谱仪对分析的样品有特殊的要求,所以待分析样品需要根据情况进行一定的预处理。由于在实验过程中样品必须通过传递杆,穿过超高真空隔离阀,送进样品分析室。因此对样品的尺寸有一定的大小规范,以利真空进样。通常固体薄膜或块状样品要求切割成面积
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对于绝缘体样品或导电性能不好的样品,光电离后将在表面积累正电荷,在表面区内形成附加势垒,会使出射光电子的动能减小,亦即荷电效应的结果,使得测得光电子的结合能比正常的要高。样品荷电问题非常复杂,一般难以用某一种方法彻底消除。在实际的XPS
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为了清洁被污染的固体表面,在X射线光电子能谱分析中,常常利用离子枪发出的离子束对样品表面进行溅射剥离,以清洁表面。利用离子束定量地剥离一定厚度的表面层,然后再用XPS分析表面成分,这样就可以获得元素成分沿深度方向的分布图,这是离子束最重
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元素沿样品深度方向的分布。XPS的Ar离子溅射深度分析,灵敏度不如二次离子质谱(简称为SIMS),但在定量分析中显示的基体效应相对较小。另外,XPS的溅射深度分析的优点是对元素化学态敏感,并且XPS谱图比溅射型AES谱图容易解释。现代XPS
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元素以质子数顺序进行排列,揭示了元素世界的奥秘。20世纪60年代,XPS仪器技术由瑞典Uppsala大学的K.Siegbahn和其合作者建立起来,X射线光电子能谱最初被称为化学分析用电子能谱(Electron Spectroscopy
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PEAKFIT,然后查到各个峰的位置,也就是找到横坐标:结合能(Bindingenergy),再和标准的峰位表进行比对,就可以确定这个峰到底是对应什么元素了。大体就是这个思路,因为我做的是稀磁半导体的掺杂,所以我使用XPS来确定我掺杂物的价态,所以我简要说了我的工作所涉及的步骤,XPS还有其他很多用处。
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信息。XPS(X射线光电子能谱)的原理是用X射线去辐射样品,使原子或分子的内层电子或价电子受激发射出来。被光子激发出来的电子称为光电子。可以测量光电子的能量,以光电子的动能为横坐标,相对强度(脉冲/s)为纵坐标可做出光电子能谱图。从而获得试样有关信息。
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X射线光电子能谱(XPS)也被称作化学分析电子能谱(ESCA)。该方法首先是在六十年代由瑞典科学家K.Siebabn 教授发展起来的。这种能谱最初是被用来进行化学元素的定性分析,现在已发展为表面元素定性、半定量分析及元素化学价态分析的
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一、XPS的历史X 射线光电子能谱(XPS)也被称作化学分析电子能谱(ESCA)。该方法首先是在六十年代由瑞典科学家K.Siebabn 教授发展起来的。这种能谱最初是被用来进行化学元素的定性分析,现在已发展为表面元素定性、半定量分析及元素